它是利用一些金属氧化物半导体材料mems甲烷传感器,在一定温度下mems甲烷传感器,电导率随着环境气体成份mems甲烷传感器的变化而变化的原理制造的比如,酒精传感器,就是利用二氧化锡在高温下遇到酒精气体时,电阻会急剧减小的原理制备的优点半导体式气体传感器可以有效地用于甲烷乙烷丙烷丁烷酒精甲醛一氧化碳二氧化碳乙烯乙炔氯。
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