接近传感器的接线分为

　　传感器发展到今天，小型化、智能化、集成化，已经是升级换代的必由之路。MEMS传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业，以其技术含量高、市场前景广阔等特点备受世界各国的关注。今天，我们就为大家介绍一下这款传感器家族的mini型产品。

　　什么是MEMS传感器

　　MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。

　　MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术，学科交叉现象极其明显，主要涉及微加工技术，机械学/固体声波理论，热流理论，电子学、材料、物理学、化学、生物学、医学等等。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。

　　加工工艺

　　MEMS技术基于已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处，如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等，但是有些复杂的微结构难以用IC工艺实现，必须采用微加工技术制造。

　　微加工技术包括硅的体微加工技术、表面微加工技术和特殊微加工技术。体加工技术是指沿着硅衬底的厚度方向对硅衬底进行刻蚀的工艺，包括湿法刻蚀和干法刻蚀，是实现三维结构的重要方法。表面微加工是采用薄膜沉积、光刻以及刻蚀工艺，通过在牺牲层薄膜上沉积结构层薄膜，然后去除牺牲层释放结构层实现可动结构。

　　除了上述两种微加工技术以外，MEMS制造还广泛地使用多种特殊加工方法，其中常见的方法包括键合、LIGA、电镀、软光刻、微模铸、微立体光刻与微电火花加工等，这里不一一赘述。

　　使用的材料

　　MEMS的原材料是硅(Si)，从二氧化硅中大量提取出来。而二氧化硅是什么？说的通俗一点，就是沙子。沙子在经历了一系列复杂的加工过程之后，就变成了单晶硅。

　　采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。若单个MEMS传感器芯片面积为5 mm x 5 mm，则一个直径20厘米硅片可切割出约1000个MEMS传感器芯片，分摊到每个芯片的成本则可大幅度降低。

　　市场规模

　　从2014年的数据来看，全球MEMS传感器市场规模为130亿美元，分析机构预计2015-2020年全球MEMS传感器市场将以13%年复合成长率增长，2020年将达到300亿美元。

　　2014年中国MEMS传感器市场规模约246亿元人民，2015年中国MEMS传感器市场规模为308亿元人民币，预计未来5年中国MEMS传感器年复合增长率在20%左右，到2020年市场规模将近650亿元。

　　应用领域

　　MEMS具有小型化（芯片尺寸mm级）、低功耗（工作电流mA级）、集成化、智能化等特点，可安装于物体表面和内部，用于感知运动、声音、温度等。MEMS主要应用领域包括：

　　1）消费电子：智能手机中搭载多种MEMS传感器，包括麦克风、摄像头、陀螺仪等，VR体感中也有大量MEMS应用；

　　2）汽车：电控化有助降低汽车油耗、提升排放和安全性表现，MEMS大量应用于汽车电控，用于感知汽车姿态、速度、加速度、发动机压力、温度等参数；

　　3）工业：低功耗MEMS适用于物联网数据采集；

　　4）其他：医疗、通信、航空航天等。

　　随着汽车、智能装备、家电类产品领域的迅速增长，MEMS传感器用量将大大增加。物联网、云计算、大数据、智慧城市更为MEMS传感器创造了良好的市场空间，农业、环保、食品检测、智慧医疗、健康养老、可穿戴设备、机器人、3D打印也为MEMS传感器技术的提升和应用创新拓展了思路。

　　目前我国MEMS产业发展面临重大机遇，特别是移动互联网和物联网的快速发展，将对MEMS产业产生深远的影响，并将催生大量新的产品、新的应用，带动MEMS产品在日常生活及工业生产中的普及化。

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